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Ａ　多元同時多層膜堆積装置　一式（成膜室排気系、ターゲット自公転機構、基板回転加熱機構、ＲＨＥＥＤシステム（差動排気型）、電子銃制御電源、基板交換室、レーザー及び光学系、据付、配線、配管、調整等含む）　Ｂ　薄膜微小領域物性測定装置　一式（試料導入室、転換・

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　次のとおり一般競争入札に付します。　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　１２　年６月　２１　日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　支出負担行為担当官　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　東北大学事務局長　伊藤　博之　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　０２３　◎所在地番号　０４...