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高分解能マスクアライナ装置　一式（紫外線露光光学系　一式、アライメント用顕微鏡　一式、アライメントステージ　一式、マスクホルダ　一式、基板チャック　一式、露光モード　一式、防振台　一式、画像処理用コンピュータシステム　一式、搬入・据付調整等　一式）

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　次のとおり一般競争入札に付します。　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２２　年７月９日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　契約責任者　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　国立大学法人電気通信大学理事　辻　　正行　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　１３...