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高速深堀用RIE装置 一式(ロードロック式エッチングチャンバー 1式、真空排気システム 1式、エッチング制御システム 1式、ガス導入システム 1式)

種別: 入札公告(物品・サービス一般) 調達機関: 国立大学法人 日付: 2007-08-06
機関詳細: 国立大学法人九州工業大学学長 下村 輝夫

                                 次のとおり一般競争入札に付します。                   平成 19 年8月6日                         国立大学法人九州工業大学学長 下村 輝夫               ◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 40               ○第8号                 ...