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反応性イオンエッチング装置　一式（反応室　一式、ロードロック室　一式、プラズマ電極　一式、ウエハー温度調節機構　一式、ガス導入系　一式、排気系　一式、反応室用排気バルブ　一式、搬送系　一式、操作系　一式、搬入・据付調整等　一式）

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　次のとおり一般競争入札に付します。　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２２　年７月９日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　契約責任者　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　国立大学法人電気通信大学理事　辻　　正行　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　１３...