高分解能分析走査型電子顕微鏡一式

ID: 720111 種別: 資料提供招請に関する公表

基本情報

調達機関および所在地
国立大学法人徳島県
公示日
2025年10月01日
公示の種類
資料提供招請に関する公表
機関名詳細および所在地詳細
 国立大学法人徳島大学長 河村 保彦 

詳細情報

資料提供招請に関する公表
 次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提供を招請します。
 令和7年 10 月1日
 国立大学法人徳島大学長 河村 保彦 
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 36
○第2号
1 調達内容
 (1) 品目分類番号 24
 (2) 導入計画物品及び数量 高分解能分析走査型電子顕微鏡 一式
 (3) 調達方法 購入等
 (4) 導入予定時期 令和9年3月
 (5) 調達に必要とされる基本的な要求要件
 (6) 高真空(10Pa以下)環境において、入射電圧15kVでの分解能は0.5nmまたはそれよりも優れていること。同様にして、入射電圧1kVでは分解能0.7nmまたはそれよりも優れており、入射電圧0.3kVでは分解能0.9nmまたはそれよりも優れていること。EDS分析での作動距離において、入射電圧5kV以上、照射電流5nA以上での分解能は3.0nmまたはそれよりも優れていること。
 (7) 対物レンズは磁場と静電場による電磁場重畳型レンズであり、照射電流の変更に応じて試料上のビーム径を最小に自動調整するため、対物レンズの上部に開き角最適化レンズを有していること。
 (8) バックアップ電源を装備しており、停電時に電子銃室をイオンポンプで高真空に250時間以上保持する機構であること。
 (9) 対物レンズの下面に可動式オリフィスを装備しており、試料室の真空度を10?300Paを含む範囲で連続的に制御できること。なお、真空度の圧力調整にはドライ窒素ガスを使用すること。またオリフィスの動作は、試料室を開放することなく、SEM操作画面から自動で操作できること。
 (10) 試料交換室の上部に光学カメラを搭載していること。さらに、試料交換室を利用した試料交換において、試料ホルダの上方から光学像を撮影し、SEM観察位置がその光学画像にリンクされて視野探しができること。また、SEM観察位置と光学画像のリンケージは、試料ステージの移動中も連動すること。
 (11) 大気非曝露での測定に対応するため、サンプルを大気非曝露搬送が可能なトランスファーベッセルホルダーを備えること。また試料交換室にはトランスファーベッセルホルダーで開閉できる機構を有すること。
 (12) エネルギー分散形元素分析装置(EDS)を1台備え、ペルチェ冷却方式であり、エネルギー分解能はMnKαにて133eV以下で且つ有効素子面積は100mm?以上であること。また、EDSソフトウェアは、FE-SEMソフトウェアにビルトインされていて、FE-SEMとEDSは1PCにてインテグレーションされていること。また、FE-SEM操作ソフトウェア内で、EDSスペクトルモニタリング表示が可能であること。
 (13) ウィンドウレスエネルギー分散形元素分析装置(WL-EDS)を2台備え、MnKαで129eV以下、CKαで59eV以下であること。またEDSマッピング時に、フレーム毎にデータを保存し、時系列を遡ったEDSマップを再現表示できること。
 (14) 結晶方位解析装置を1台備え、検出速度は最大2,000点/秒以上であり、EDSとインテグレートされて、同時分析が可能であること。
 (15) カソードルミネッセンス測定装置を1台備え、ミラー形状は楕円ミラーであり、焦点距離は320mm以上であること。
 (16) 前処理機器として、プラチナコーター、カーボンコーター、オスミウムコーター、凍結乾燥装置、ウルトラミクロトームをそれぞれ1台ずつ備えること。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1?の物品に関する一般的な参考資料及び同?の要求要件等に関するコメント並びに提供可能な製品やサービスに関する資料等の提供を招請する。
 (1) 資料等の提供期限 令和7年10月31日 (2025年10月31日)17時00分(郵送の場合は必着のこと。)
 (2) 提供先 〒770―8503徳島市南常三島町2―1 📍 国立大学法人徳島大学経理部常三島会計課調達係長 新居 大樹 電話088―656―8802
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付する。
 (1) 交付期間 令和7年10月1日 (2025年10月1日)から令和7年10月31日 (2025年10月31日)まで。
 (2) 交付場所 上記2?に同じ。
4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。
 (1) 開催日時 令和7年10月10日 (2025年10月10日)10時00分
 (2) 開催場所 徳島大学理工学部小会議室
5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予定であり、変更することがあり得る。

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