高精度電子ビーム露光装置 一式

ID: 62309 種別: 資料提供招請に関する公表

基本情報

調達機関および所在地
国立大学法人京都府
公示日
2006年06月01日
公示の種類
資料提供招請に関する公表
機関名詳細および所在地詳細
国立大学法人京都大学長 尾池 和夫

詳細情報

                         次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。                             平成 18 年6月1日                            国立大学法人京都大学長 尾池 和夫               ◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 26               ○第1号                                1 調達内容                               (1) 品目分類番号 24                       (2) 導入計画物品及び数量                        高精度電子ビーム露光装置 一式                   (3) 調達方法 購入等                        (4) 導入予定時期                            平成18年度11月以降                       (5) 調達に必要とされる基本的な要求要件                A 本高精度電子ビーム露光装置は、電子光学系、試料描画系、画像観察 系、真空排気系、描画制御系を備え、電子ビームの位置決め精度は、サブナノ メートル程度と極めて高いこと。                       B 本高精度電子ビーム露光装置は、任意の超微細パターンを大面積に渡 って、長時間安定して、かつ再現性良く正確に描画できること。       2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考 資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。                    (1) 資料等の提供期限 平成18年7月3日 (2006年7月3日)17時00分(郵送の場合 は必着のこと。)                             (2) 提供先 〒615―8530 京都市西京区京都大学桂 京都大学 工学研究科学術協力課産学連携掛 奥村 成和 電話075―383―206 8                                   3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。                                  (1) 交付期間 平成18年6月1日 (2006年6月1日)から平成18年7月3日 (2006年7月3日)まで。    (2) 交付場所 上記2(2)に同じ。                4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。          (1) 開催日時 平成18年6月16日 (2006年6月16日)14時00分           (2) 開催場所 京都大学工学研究科入札室(桂キャンパス)      5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。                  

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