次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　平成　２８　年　１１　月１日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　国立大学法人東北大学理事　佃　　良彦　　　　　　　　　　　　　　◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　０４　　　　　　　　　　　　　　○第４号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　１　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　ナノ集積電子ビーム描画装置　一式　　　　　　　　　　　　　　　　　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（４）　導入予定時期　平成２９年度５月以降　　　　　　　　　　　　　　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　　　　〓ナノ集積電子ビーム描画装置は、以下の機能を備えていること。　　　　１　）電子ビームの加速電圧は１００ｋＶ以上であること。　　　　　　　　２　）電子ビームは５ｎｍ以下のスポットビーム径に集束できること。　　　３　）電子ビームの走査方式はベクタースキャン方式であること。　　　　　４　）電子ビームの走査速度は１００ＭＨｚ以上であること。　　　　　　　５　）３００ｍｍウェハの搬送から電子ビーム描画までの一連の動作が自動で行えること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（１）　資料等の提供期限　平成２８年１２月２日 (2016年12月2日)１７時００分（郵送の場合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（２）　提供先　〒９８０―８５７７仙台市青葉区片平２―１―１ 📍　東北大学財務部調達課調達第一係長　菊地　宏隆　電話０２２―２１７―４８６９３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　（１）　交付期間　平成２８年１１月１日 (2016年11月1日)から平成２８年１２月２日 (2016年12月2日)まで。　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　　（１）　開催日時　平成２８年１１月８日 (2016年11月8日)１０時００分　　　　　　　　　　（２）　開催場所　東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター３階第１会議室　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予定であり、変更することがあり得る。