微小部解析システム 一式
基本情報
- 調達機関および所在地
- 国立大学法人 (宮城県)
- 公示日
- 2013年05月21日
- 公示の種類
- 資料提供招請に関する公表
- 機関名詳細および所在地詳細
- 国立大学法人東北大学理事 佃 良彦
詳細情報
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提
供を招請します。
平成 25 年5月 21 日
国立大学法人東北大学理事 佃 良彦
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 04
○第 15 号
1 調達内容
(1) 品目分類番号 24
(2) 導入計画物品及び数量
微小部解析システム 一式
(3) 調達方法 購入等
(4) 導入予定時期 平成25年度11月以降
(5) 調達に必要とされる基本的な要求要件
A 高分解能透過型電子顕微鏡は、以下の機能を備えていること。
a TEM像、STEM像、二次電子像の観察が可能なこと。
b 分解能が、200kV時においてTEM粒子像で0.3nm以下、
STEM明視野像格子像で0.25nm以下であること。
c フォーカス、スティグマ、コントラスト、ブライトネス、オリエン
テーションが自動調整できること。
d 装置操作をアシストするためのナビゲーション機能を有すること。
e エネルギー分散型X線分析機能を有すること。
B 複合ビーム加工観察装置は、以下の要件を備えていること。
a 電界放出型走査電子顕微鏡の電子銃は、ショットキー型FE電子銃
であること。
b 電界放出型走査電子顕微鏡の二次電子像分解能が、加速電圧30k
V時で1.5nm以下であること。
c 集束イオンビーム装置のイオン源は、Ga液体金属イオン源である
こと。
d 集束イオンビーム装置のイオン光学系の分解能は、加速電圧30k
Vで5.0nm以下であること。
e 集束イオンビーム装置のガスインジェクション系の供給ガスは、タ
ングステン導入ガスであること。
C 高分解能電界放出型走査電子顕微鏡は、以下の機能を備えていること
。
a 二次電子像分解能が加速電圧15kV時で0.8nm以下であるこ
と。
b CCDカメラで撮影した試料画像上で指定した位置に視野移動がで
きること。
c エネルギー分散型X線分析機能を有すること。
d 広域な観察領域に対し、指定した複数の微小観察領域を自動で連続
撮影可能なソフトウェアを有すること。
e 観察した画像を自動格納するデータベースを有し、その画像データ
に対して整理、解析の操作やマニュアル測長および自動測長が可能なこと。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考
資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ
ーに関する資料等の提供を招請する。
(1) 資料等の提供期限 平成25年6月21日 (2013年6月21日)17時00分(郵送の場
合は必着のこと。)
(2) 提供先 〒980―8577仙台市青葉区片平2―1―1 📍 東北
大学財務部調達課調達第一係長 菊地 崇 電話022―217―4869
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付
する。
(1) 交付期間 平成25年5月21日 (2013年5月21日)から平成25年6月21日 (2013年6月21日)まで。
(2) 交付場所 上記2(2)に同じ。
4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。
(1) 開催日時 平成25年5月30日 (2013年5月30日)11時30分
(2) 開催場所 東北大学国際集積エレクトロニクス研究開発センター3
階第1会議室
5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予
定であり、変更することがあり得る。