次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２５　年５月１日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　国立大学法人名古屋大学　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　財務担当理事　藤井　良一　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　２３　　　　　　　　　　　　　　 ○第２号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　ナノテクノロジー向けハイパフォーマンス ＥＢリソグラフィシステム　一式　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２５年度１０月以降　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　最大１００ｋＶの電圧で加速された電子ビームを試料上３ｎｍ未満に 集光できること。この時，電子ビームの電流値は１００ｐＡ以上で，電流値揺 らぎは０．１％以下であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　電子ビーム偏向により２ｍｍ×２ｍｍの大面積描画を行うことができ? ??こと。また，フィールド端まで中心部分と変わらない精度で描画が行えるこ? ??。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　Ｃ　試料ステージはレーザ測長器により１ｎｍ以下の精密な位置決めが可? ??であり、高さセンサによる試料高さ自動補正機能を持つこと。　　　　　　? ??　Ｄ　ビーム偏向フィールドと試料ステージ移動により１５０ｍｍ×１５０?? ?ｍ以上の描画領域を持ち、フィールドつなぎ精度が±９ｎｍ以内であること。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　Ｅ　ビームの偏向歪み、偏向湾曲，偏向非点補正機能を有し、また、ビーム 偏向と試料ステージとの間の振幅、回転の補正機能を有すること。　　　　 　　Ｆ　１０個以上の試料ホルダーを予備室から自動搬送できること。　　　 　　Ｇ　ＣＡＤデータ生成・変換プログラムを備え、コンピュータ制御により パターン自動描画ができること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｈ　アラインメントマーク検出による位置決め・歪み補正機能を有し、複 数の描画を±９ｎｍ以内の精度で重ね合わせることができること。　　　　　? ??　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考? ??料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ? ??に関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??（１）　資料等の提供期限　平成２５年６月３日 (2013年6月3日)１７時００分（郵送の場合? ??必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??（２）　提供先　〒４６４―８６０１　名古屋市千種区不老町　名古屋大学? ??部２号館２階財務部契約課　小川　晃史　電話０５２―７８９―５５２７　? ??　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付? ??る。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２５年５月１日 (2013年5月1日)から平成２５年６月３日 (2013年6月3日)まで。　　 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２５年５月９日 (2013年5月9日)１４時００分　　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　名古屋大学ＩＢ電子情報館北棟５階電気系会議室　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。