次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２５　年２月　２１　日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　国立大学法人東北大学理事　佃　　良彦　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　０４　　　　　　　　　　　　　　 ○第　１３　号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　微細加工システム　一式　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２５年度９月以降　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　イオン（ＦＩＢ）光学部は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　 　　　ａ　イオン源は液体ガリウムであること。　　　　　　　　　　　　　 　　　ｂ　加速電圧は５ｋＶから３０ｋＶまで可変できること。　　　　　　 　　　ｃ　イオン電流は最大３０ｎＡに達すること。　　　　　　　　　　　 　　　ｄ　分解能は、加速電圧３０ｋＶの条件下で、５ｎｍ以下であること。 　　　ｅ　ＴＥＭ試料作製およびアトムプローブ試料作製に必要な精度で、２ 種類以上のガスデポジションができること。　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　電子光学部（ＳＥＭ）は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　　 　　　ａ　電子銃はサーマルショットキー電界放出型であること。　　　　　 　　　ｂ　加速電圧は最小５００?から３０ｋＶで制御できること。　　　　 　　　ｃ　最大ビーム電流は２０ｎＡ以上であること。　　　　　　　　　　 　　　ｄ　二次電子検出器、反射電子検出器、環状ＳＴＥＭ検出器を装備して いること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｅ　像分解能は、加速電圧１５ｋＶで１ｎｍ以下、加速電圧１ｋＶで３ ｎｍ以下であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｃ　ＥＤＳ分析測定部は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　 　　　ａ　分解能は１３３ｅＶ以下の性能を有し、検出元素範囲はＢｅ〜Ｕ以 上であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｂ　検出器はＳｉドリフトディテクターを装備し、液体窒素が不要のこ と。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｃ　定性・定量分析、デジタル元素マッピング機能を有していること。 　　　ｄ　ドリフト補正機能を組み込んでいること。　　　　　　　　　　　 　　　ｅ　元素マッピングデータがＥＢＳＤマッピングデータと同期できるこ と。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｆ　３次元マッピングデータのスライス可視化ができること。　　　　 　　　ｇ　スタンダードレスの定量測定の精度が、ＡｌＯ標準試料にて±０．? ??％以内であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　Ｄ　ＥＢＳＤ結晶構造方位測定部は、以下の要件を満たすこと。　　　　 　　　ａ　検出器はカメラ本体がデジタルＣＣＤカメラであること。　　　　 　　　ｂ　画素数はカメラ本体の有効画素数が１３００×１０３０以上である? ??と。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　　ｃ　画像転送方式はギガイーサーネットであること。　　　　　　　　? ??　　ｄ　回折像取込角は７０°以上であること。　　　　　　　　　　　　?? ?　　ｅ　検出器駆動は測定位置⇔退避位置間はモーター駆動であること。　?? ?　　ｆ　検出器可動部はメタルベローシールで真空保持に配慮されているこ?? ?。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　?? ?　　ｇ　電子線制御は正方格子配列および正六角形格子配列の各中心点に電?? ?線を連続照射できること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　?? ?　　ｈ　制御は検出器カメラ本体のゲイン、シャッタースピード、コントラ?? ?ト、ブライトネスをソフトウェアから制御できること。　　　　　　　　　?? ?　　ｉ　３次元マッピングデータのスライス可視化ができること。　　　　?? ?　Ｅ　試料ステージ部は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　　 　　　ａ　ステージの移動範囲は、Ｘ―Ｙ軸が５０ｍｍ以上、Ｚ軸が１０ｍｍ 以上であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｂ　チルト軸の調整できる範囲は?１０°から＋７０°で、回転軸につ?? ?ては３６０°連続的に駆動が可能であること。　　　　　　　　　　　　　　 　　ｃ　全ての軸駆動が、Ｐｉｅｚｏ駆動あるいはモータ駆動であること。　 　　ｄ　ＸＹのステージ駆動の再現性は１．０μｍ以下であること。　　　　? ??Ｆ　コンピュータ制御部は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　? ??　ａ　同一のソフトウエアインターフェースで、電子銃およびイオンカラム? ??電流条件設定が可能であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　ｂ　各ビームにおける画像を同時に観察できること。　　　　　　　　　? ??　ｃ　取り込み画像を各種形式（ＴＩＦＦ、ＢＭＰ、ＪＰＥＧ）に変換でき? ??こと。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　ｄ　赤外線ＣＣＤカメラによって試料室内をモニタできること。　　　　? ??Ｇ　真空排気制御部は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　　 　　　ａ　ターボ分子ポンプが装備され、２．６×１０Ｐａの真空度まで到達? ??きること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　Ｈ　ユーティリティ部は、以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　? ??　　ａ　冷却水循環装置を装備していること。　　　　　　　　　　　　　? ??　　ｂ　７２時間以上の電力供給停止でも本体のシャットダウンが不要な無? ??電電源装置を装備していること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　? ??　　ｃ　コンプレッサーを装備していること。　　　　　　　　　　　　　? ??　Ｉ　ＳＥＭ―ＦＩＢ複合機として以下の要件を満たすこと。　　　　　　? ??　　ａ　ＦＩＢ加工過程をＳＥＭにてリアルタイム観察が出来ること。　　? ??　　ｂ　ＦＩＢビームとＳＥＭ電子ビームの同時照射が可能であること。　? ??　　ｃ　ＴＥＭ試料作製およびアトムプローブ試料作製が可能であること。? ??　　ｄ　自動機能にてＦＩＢスライス加工、同一視野でのＳＥＭ画像取得（? ??ＢＳＤ、ＥＤＳ測定含む）を繰り返す機能を有すること。　　　　　　　　? ??　　ｅ　取得したデータを３次元構成する機能を有すること。　　　　　　 　　Ｊ　耐震対策及び除震機能として以下の要件を満たすこと。　　　　　　 　　　ａ　耐震対策については、本装置に必要な対策を行うこと。　　　　　 　　　ｂ　東北大学片平キャンパス北東角に建設予定の産学連携開発拠点（仮 称）１Ｆ南側の共用実験室３にて、上記の性能が得られるための除震機能を有 していること。（尚、同建物は免震構造の建築物となっている。また同室には 、特に電子顕微鏡用の除震装置は備えていない。）　　　　　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２５年３月２６日 (2013年3月26日)１７時００分（郵送の場 合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒９８０―８５７７仙台市青葉区片平２―１―１ 📍　東北 大学財務部調達室調達第一係長　菊地　　崇　電話０２２―２１７―４８６９ ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２５年２月２１日 (2013年2月21日)から平成２５年３月２６日 (2013年3月26日)まで。 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２５年２月２８日 (2013年2月28日)１３時００分　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　東北大学金属材料研究所本多記念館３階視聴覚室　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。