三次元アトムプローブシステム 一式
基本情報
- 調達機関および所在地
- 国立大学法人 (宮城県)
- 公示日
- 2011年03月22日
- 公示の種類
- 資料提供招請に関する公表
- 機関名詳細および所在地詳細
- 国立大学法人東北大学理事 植木 俊哉
詳細情報
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提
供を招請します。
平成 23 年3月 22 日
国立大学法人東北大学理事 植木 俊哉
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 04
○第 12 号
1 調達内容
(1) 品目分類番号 24
(2) 導入計画物品及び数量
三次元アトムプローブシステム 一式
(3) 調達方法 購入等
(4) 導入予定時期 平成23年度9月以降
(5) 調達に必要とされる基本的な要求要件
1.飛行時間型(Time−Of−Flight)質量分析器を備えたイ
オン検出システム
(1) 高速位置敏感型ディレイライン検出器を有しており、一秒当た
り3万個以上のイオンの検出が可能であり、かつサブナノメートルの空間解像
度でX−Y方向の位置情報が得られること。
(2) 収差補正型広角リフレクトロン(エネルギー補償器)を有して
おり、標準アルミニウム試料を7.5kV以上で測定した場合に150nm径
以上の視野が得られること。
(3) イオン飛行距離350mm以上の質量分析器を有し、1amu
〜200amuを含む範囲以上の質量を分析でき、かつ標準アルミニウム試料
を5kV以上で測定した場合のAl27+ピークの質量分解能は1:1000
以上(FWHM)が得られること。
2.電界蒸発システム
(1) 試料先端からのイオンの電界蒸発を発生させるためのベース電
圧として高電圧電源を有し、試料(試料ステージ)に15kV以上のDC電圧
を印加できること。
(2) 試料先端に電界を集中させ電界蒸発に必要な印加電圧を低減し
、かつ質量分解能及び測定視野を広げることができる局所電極を有すること。
(3) 試料先端からのイオンの電界蒸発の発生を制御し、かつ質量分
析器のTOシグナルとしての高速パルス発生器を有し、局所電極に−1600
V以上の引出電圧を印加できること。
(4) 試料を保持する3軸移動試料ステージを有し、試料と局所電極
間の相対位置を1μm以下の精度で制御できること。
(5) 試料を冷却するためのクライオシステムを有し、試料ステージ
の温度を25K以下まで冷却することができ、リアルタイムに試料ステージの
温度をモニターして±0.1K以下の精度で温度制御できること。
3.真空システム
(1) 超高真空を維持するため、ロードロックチャンバー、ストレー
ジチャンバー、分析チャンバーの3チャンバーで構成され、それぞれのチャン
バーは独立した真空ポンプと、各チャンバー間を分離するゲートバルブで真空
を保持し、各チャンバーの圧力をモニターする真空ゲージを有すること。
(2) ロードロックチャンバーは、大気圧から30分以内に1E−6
Torr以下の真空に到達できること。
(3) ストレージチャンバーは、15個以上の試料パックを真空下(
1E−8Torr以下)で保管でき、ロードロックチャンバーと分析チャンバ
ー間のバッファを兼ねること。
(4) 分析チャンバーは、超高真空(1E−10Torr以下)を維
持し、イオン検出システムと電界蒸発システムから構成されること。
(5) 超高真空を実現するためメンテナンス時に170℃以上のベー
キング(脱ガス)が可能なヒータシステムを有すること。
(6) ロードロックチャンバー 〜 ストレージチャンバー 〜 分
析チャンバー間の試料の移動ができる搬送系を有すること。
4.FIM(Field Ion Microscopy)システム
(1) UHVリークバルブとガスシリンダーから構成される2系統の
FIM結像ガス(He、Ne)供給システムとアトムプローブモードと共用の
イオン検出器を有し、FIM像を観察できること。
(2) FIMモードで観察した画像をデジタル化して記録し再生でき
るFIM像観察ソフトウェアを有すること。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考
資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ
ーに関する資料等の提供を招請する。
(1) 資料等の提供期限 平成23年4月22日 (2011年4月22日)17時00分(郵送の場
合は必着のこと。)
(2) 提供先 〒980―8577仙台市青葉区片平2―1―1 📍 東北
大学財務部資産・調達管理課調達管理第二係長 樋口 秀樹 電話022―2
17―4869
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付
する。
(1) 交付期間 平成23年3月22日 (2011年3月22日)から平成23年4月22日 (2011年4月22日)まで。
(2) 交付場所 上記2(2)に同じ。
4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。
(1) 開催日時 平成23年3月29日 (2011年3月29日)11時00分
(2) 開催場所 東北大学金属材料研究所本多記念館3階視聴覚室
5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予
定であり、変更することがあり得る。