高精度ポインティング・分割ビーム多点集光装置 一式

ID: 306832 種別: 資料提供招請に関する公表

基本情報

調達機関および所在地
国立大学法人大阪府
公示日
2004年06月16日
公示の種類
資料提供招請に関する公表
機関名詳細および所在地詳細
国立大学法人大阪大学総長 宮原 秀夫

詳細情報

                         次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。                             平成 16 年6月 16 日                        国立大学法人大阪大学総長 宮原 秀夫               ◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 27               ○第2号                                1 調達内容                               (1) 品目分類番号 24                       (2) 導入計画物品及び数量                        高精度ポインティング・分割ビーム多点集光装置 一式         (3) 調達方法 購入等                        (4) 導入予定時期                            平成16年度第4・四半期以降                    (5) 調達に必要とされる基本的な要求要件                A 本装置は、平成16年3月導入の三菱電機(株)製「光位相制御装置 」の「光伝送部NZ―0333」から分割された4本のビームのポインティン グを正確に制御し、集光ミラーを用いて集光するものであり、EUVプラズマ シミュレーションコードを精緻化し、EUV光源開発に必要なデータを供給す ることを目的とする。本装置は高精度ポインティング部、分割ビーム多点集光 部より構成されており、各部は以下の機能と構成を有する。           B 高精度ポインティング部は4本のビームサイズ40×40cmの「光? ??相制御装置」からの出力ビームを25μrad以下の角度分解能と±5mra d以上の角度調整範囲を有する2台の大型ミラー(平面鏡AおよびB)で折り 曲げ、各々ビームのセンタリングとポインティングを調整できる。これらの大 型ミラー群はすべて高い精度で研磨・コートされており、その波面収差は非球 面成分でλ /4(P―V)以下でなければならない。また、高精度ポインテ? ??ング部には各ビームのポインティングを5μrad以下の検出精度で計測 するポインティングセンサーを備えている。                  C 分割ビーム多点集光部は4本のビームを各々集光する機能を有する有 効径15cm以上のオフアクシス集光鏡と有効径20cmの1枚のビームスプ リッターを有する。オフアクシス集光鏡は10μrad以下の角度分解能と±?? ?mrad以上の角度調整範囲、および非球面成分でλ /4(P―V)以下の 波面収差を有する。ビームスプリッターの反射波面歪みと透過波面歪みは各々 非球面成分でλ /4(P―V)以下でなければならない。また、付属の集光? ??ンサーにより集光パターンを計測し、波面計測精0.1λ 以下で波面分布?? ?測定できること、および集光位置制御部は、ポインティングセンサー、集光?? ?ンサーの信号により平面鏡A、B、オフアクシス集光鏡を制御できること。?? ?                                  ?? ?D 本装置は、「光位相制御装置」からの位相を制御された光を高精度でポ?? ?ンティングし、多点集光制御する大型の高精度光学装置である。従って、調?? ?物品には、以下の各項目を含む特別の配慮が必要となること。         a 「光位相制御装置」からの位相制御された光に同期した信号を授受 できること。                              2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考 資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。                    (1) 資料等の提供期限 平成16年7月20日 (2004年7月20日)17時00分(郵送の場 合は必着のこと。)                            (2) 提供先 〒565―0871吹田市山田丘1―1 📍 大阪大学経理 部吹田調達センター室調達第三掛 小西 由照 電話06―6879―401 0                                   3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。                                  (1) 交付期間 平成16年6月16日 (2004年6月16日)から平成16年7月20日 (2004年7月20日)まで。  (2) 交付場所 上記2(2)に同じ。                4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。          (1) 開催日時 平成16年6月23日 (2004年6月23日)11時00分           (2) 開催場所 レーザーエネルギー学研究センター研究棟3階大会議室 5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。                  

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