高性能半導体レーザー励起増幅装置 一式

ID: 306831 種別: 資料提供招請に関する公表

基本情報

調達機関および所在地
国立大学法人大阪府
公示日
2004年06月16日
公示の種類
資料提供招請に関する公表
機関名詳細および所在地詳細
国立大学法人大阪大学総長 宮原 秀夫

詳細情報

                         次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。                             平成 16 年6月 16 日                        国立大学法人大阪大学総長 宮原 秀夫               ◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 27               ○第1号                                1 調達内容                               (1) 品目分類番号 24                       (2) 導入計画物品及び数量                        高性能半導体レーザー励起増幅装置 一式               (3) 調達方法 購入等                        (4) 導入予定時期                            平成16年度第4・四半期以降                    (5) 調達に必要とされる基本的な要求要件                A 本装置は、高繰り返し短パルスレーザーを増幅し高尖頭出力を得る装 置であり、EUV光源開発に必要な増幅技術を開発するものである。連続動作 半導体レーザーで励起される6台の主増幅器、主増幅器間に設置し像転送・熱 効果補償を行う段間光学系、各部のレーザー動作特性を計測するレーザー動作 計測装置、およびネットワークでつながったコンピュータ群のレーザー制御装 置で構成される。                              B 各主増幅器は、600W/台以上の出力を有する6台の連続動作半導 体レーザーで励起されること。半導体レーザーは、2次元アレイ型であり、指 定した位置に設置され指定した方向に指定した発散角で806nm+/?2n mの光を放出できること。半導体レーザーの出力は、専用電源の電流値により 、0―600Wまで連続的に可変でき、所定のレーザー性能を維持できること 。各増幅器は冷却器を保有し、レーザー媒質、半導体レーザー、および専用電 源を水冷できること。専用電源および専用冷却器は、レーザー制御装置により 制御できること。専用電源および専用冷却器は、インターロック機構を有し内 部の異常を検出し、レーザー制御装置に異常信号を出力できること。       C 段間光学系は、4台の90°旋光板と9台の熱レンズ補償器より構成? ??れること。90°旋光板の材質は水晶であること。熱レンズ補償器は、20?? ?mの焦点距離のレンズ2枚を真空セルの両端に有し、レンズ間隔を40cm?? ?ら20cmの間隔に連続的に可変でき、所定の間隔に維持できること。レン?? ?間隔は、レーザー制御装置から制御できること。90°旋光板と熱レンズ補償 器の有効径は、15mm以上であること。90°ローテーターと熱レンズ補償? ??の光損傷しきい値は、10kW/平方cm(2J/平方cm, for 2? ??s, at 5kHz)以上を有すること。すべての光学素子の透過率は1? ??あたり99%以上であること。主増幅器および段間光学系は、安定な光学ベ? ??チ上に設置され、適当なカバーを設け粉塵による光学素子の損傷、および人? ??への安全を考慮すること。                      ? ??D レーザー動作計測装置は、5台以上の近視野像計測器、5台以上の遠 視野像計測器、および5台以上のパワーメータから構成されること。使用する CCDカメラは、プログレッシブであり、VGA以上のピクセル数を有するこ と。パワーメータは、20mm以上の有効径を有し、500W以上の最大測定 出力であること。計測した近視野像、遠視野像、および出力は、レーザー制御 装置に、データ転送できること。                       E レーザー制御装置は、ネットワークで連結された複数のコンピュータ から構成されること。レーザー制御装置は、レーザー動作計測装置の計測デー タを取り込み解析でき、専用電源および専用冷却器の動作状況をモニターでき ること。レーザー制御装置は、レーザーアライメントを自動的に行い、その精 度はセンタリング0.5mm、ポインティング100μrad以下であること? ??レーザー制御装置は、熱レンズ補償器のレンズ間隔を変化させ主増幅器の熱? ??ンズを自動的に補償できること。レーザー制御装置は、安全に出力の増加・? ??少、およびシステムの起動・停止ができること。レーザー制御装置は、実験? ??の温度・湿度、レーザー媒質の温度から結露を予測し、結露の発生が生じる 条件のとき、システムを停止すること。システム動作に重要な、計測データ、 システム状況を記録できること。                     2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考 資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。                    (1) 資料等の提供期限 平成16年7月20日 (2004年7月20日)17時00分(郵送の場 合は必着のこと。)                            (2) 提供先 〒565―0871吹田市山田丘1―1 📍 大阪大学経理 部吹田調達センター室調達第三掛 小西 由照 電話06―6879―401 0                                   3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。                                  (1) 交付期間 平成16年6月16日 (2004年6月16日)から平成16年7月20日 (2004年7月20日)まで。  (2) 交付場所 上記2(2)に同じ。                4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。          (1) 開催日時 平成16年6月23日 (2004年6月23日)10時00分           (2) 開催場所 レーザーエネルギー学研究センター研究棟3階大会議室 5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。                  

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