高性能半導体レーザー励起増幅装置 一式
基本情報
- 調達機関および所在地
- 国立大学法人 (大阪府)
- 公示日
- 2004年06月16日
- 公示の種類
- 資料提供招請に関する公表
- 機関名詳細および所在地詳細
- 国立大学法人大阪大学総長 宮原 秀夫
詳細情報
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提
供を招請します。
平成 16 年6月 16 日
国立大学法人大阪大学総長 宮原 秀夫
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 27
○第1号
1 調達内容
(1) 品目分類番号 24
(2) 導入計画物品及び数量
高性能半導体レーザー励起増幅装置 一式
(3) 調達方法 購入等
(4) 導入予定時期
平成16年度第4・四半期以降
(5) 調達に必要とされる基本的な要求要件
A 本装置は、高繰り返し短パルスレーザーを増幅し高尖頭出力を得る装
置であり、EUV光源開発に必要な増幅技術を開発するものである。連続動作
半導体レーザーで励起される6台の主増幅器、主増幅器間に設置し像転送・熱
効果補償を行う段間光学系、各部のレーザー動作特性を計測するレーザー動作
計測装置、およびネットワークでつながったコンピュータ群のレーザー制御装
置で構成される。
B 各主増幅器は、600W/台以上の出力を有する6台の連続動作半導
体レーザーで励起されること。半導体レーザーは、2次元アレイ型であり、指
定した位置に設置され指定した方向に指定した発散角で806nm+/?2n
mの光を放出できること。半導体レーザーの出力は、専用電源の電流値により
、0―600Wまで連続的に可変でき、所定のレーザー性能を維持できること
。各増幅器は冷却器を保有し、レーザー媒質、半導体レーザー、および専用電
源を水冷できること。専用電源および専用冷却器は、レーザー制御装置により
制御できること。専用電源および専用冷却器は、インターロック機構を有し内
部の異常を検出し、レーザー制御装置に異常信号を出力できること。
C 段間光学系は、4台の90°旋光板と9台の熱レンズ補償器より構成?
??れること。90°旋光板の材質は水晶であること。熱レンズ補償器は、20??
?mの焦点距離のレンズ2枚を真空セルの両端に有し、レンズ間隔を40cm??
?ら20cmの間隔に連続的に可変でき、所定の間隔に維持できること。レン??
?間隔は、レーザー制御装置から制御できること。90°旋光板と熱レンズ補償
器の有効径は、15mm以上であること。90°ローテーターと熱レンズ補償?
??の光損傷しきい値は、10kW/平方cm(2J/平方cm, for 2?
??s, at 5kHz)以上を有すること。すべての光学素子の透過率は1?
??あたり99%以上であること。主増幅器および段間光学系は、安定な光学ベ?
??チ上に設置され、適当なカバーを設け粉塵による光学素子の損傷、および人?
??への安全を考慮すること。 ?
??D レーザー動作計測装置は、5台以上の近視野像計測器、5台以上の遠
視野像計測器、および5台以上のパワーメータから構成されること。使用する
CCDカメラは、プログレッシブであり、VGA以上のピクセル数を有するこ
と。パワーメータは、20mm以上の有効径を有し、500W以上の最大測定
出力であること。計測した近視野像、遠視野像、および出力は、レーザー制御
装置に、データ転送できること。
E レーザー制御装置は、ネットワークで連結された複数のコンピュータ
から構成されること。レーザー制御装置は、レーザー動作計測装置の計測デー
タを取り込み解析でき、専用電源および専用冷却器の動作状況をモニターでき
ること。レーザー制御装置は、レーザーアライメントを自動的に行い、その精
度はセンタリング0.5mm、ポインティング100μrad以下であること?
??レーザー制御装置は、熱レンズ補償器のレンズ間隔を変化させ主増幅器の熱?
??ンズを自動的に補償できること。レーザー制御装置は、安全に出力の増加・?
??少、およびシステムの起動・停止ができること。レーザー制御装置は、実験?
??の温度・湿度、レーザー媒質の温度から結露を予測し、結露の発生が生じる
条件のとき、システムを停止すること。システム動作に重要な、計測データ、
システム状況を記録できること。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考
資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ
ーに関する資料等の提供を招請する。
(1) 資料等の提供期限 平成16年7月20日 (2004年7月20日)17時00分(郵送の場
合は必着のこと。)
(2) 提供先 〒565―0871吹田市山田丘1―1 📍 大阪大学経理
部吹田調達センター室調達第三掛 小西 由照 電話06―6879―401
0
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付
する。
(1) 交付期間 平成16年6月16日 (2004年6月16日)から平成16年7月20日 (2004年7月20日)まで。
(2) 交付場所 上記2(2)に同じ。
4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。
(1) 開催日時 平成16年6月23日 (2004年6月23日)10時00分
(2) 開催場所 レーザーエネルギー学研究センター研究棟3階大会議室
5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予
定であり、変更することがあり得る。