次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　１５　年４月　１１　日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　大阪大学事務局長　北見　耕一　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　０１６　◎所在地番号　２７　　　　　　　　　　　　　　 ○第８号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　超純水供給・洗浄システム　一式　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　平成１５年度第４・四半期以降　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　　導入を計画している、超純水供給・洗浄システム（以下、「本システム 」という）は、クラス１以下のクリーンルーム実験施設内において、外部擾乱 のない実験を行うために、極めて不純物の少ない超純水を製造するとともに、 クリーンルーム内部で循環させることで実験装置に供給する機能、使用後の超 純水を回収・再精製する機能、超純水にオゾンや水素を混入した機能水を製造 し洗浄装置に供給する機能、および超清浄な試料洗浄プロセスと廃液の回収・ 処理を行う機能を有するシステムである。　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　本システムは、一次純水製造システム、超純水製造・循環供給システ ム、オゾン水製造・供給システム、水素水製造・供給システム、ＥＥＭ加工液 回収・精製・循環供給システム、超純水電解加工・洗浄液回収・精製・循環供 給システム、廃液回収・処理・監視システム、高機能洗浄システムから構成さ れる。なお各システムは機能の項目を示すものであって、物理的な構成を制約 するものではない。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　一次純水製造システム　市水を原水として不純物を取り除き、一次純 水を製造し、Ｃの超純水製造・循環供給システムに供給すること。　　　　　 　　Ｃ　超純水製造・循環供給システム　Ｂの一次純水製造システムから供給 された超純水をさらに高純度化して、クリーンルーム内の複数箇所のユースポ イントに供給するとともに、循環・再精製すること。　　　　　　　　　　　 　　Ｄ　オゾン水製造・供給システム　Ｃの超純水製造・循環供給システムか ら供給される超純水を使用して、試料洗浄プロセスに必要なオゾン水を製造し 、クリーンルーム内のユースポイントに供給すること。　　　　　　　　　　 　　Ｅ　水素水製造・供給システム　Ｃの超純水製造・循環供給システムから 供給される超純水を使用して、試料洗浄プロセスに必要な水素水を製造し、ク リーンルーム内のユースポイントに供給すること。　　　　　　　　　　　　 　　Ｆ　ＥＥＭ加工液回収・精製・循環供給システム　ＥＥＭ加工で使用した 超純水を、回収・再精製・循環すること。　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｇ　超純水電解加工・洗浄液回収・精製・循環供給システム　超純水電解 加工・洗浄システムで使用した超純水を、回収・再精製・循環すること。　　 　　Ｈ　廃液回収・処理・監視システム　高機能洗浄システム〓から排出され る、下水放流できない薬品廃液を一括廃棄処理するために、移送・保管・管理 ・処理を行うこと。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｉ　高機能洗浄システム　クリーンルーム内において、加工物表面を超純 水や各種薬液により洗浄するための洗浄槽を備えた複数台のウエットベンチに より構成されること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成１５年５月１２日 (2003年5月12日)１７時００分（郵送の場 合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒５６５―０８７１吹田市山田丘１―１ 📍　大阪大学経理 部吹田調達センター室調達第三掛　蘆田　　実　電話０６―６８７９―４０１ ０　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成１５年４月１１日 (2003年4月11日)から平成１５年５月１２日 (2003年5月12日)まで。 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成１５年４月１８日 (2003年4月18日)１４時３０分　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　大阪大学工学部管理棟第１会議室　　　　　　　　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。