次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　１４　年４月　１６　日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　豊橋技術科学大学事務局長　〓澤　昌俊　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　０１６　◎所在地番号　２３　　　　　　　　　　　　　　 ○第　１４　号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　機能集積化知能デバイス開発・研究システム　一式　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　平成１４年度第４・四半期以降　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　極微細（１μｍ以下）のデバイス構造を形成するために、シリコンウ? ??ハ上にプラズマなどを用いて各種薄膜を形成したり、ステッパなどのパター? ??形成装置を用いて極微細に形成されたマスクパターンによりシリコン基板上? ??薄膜部分をエッチングすることができること。　　　　　　　　　　　　　? ??　Ｂ　シリコン集積回路と化合物半導体による光デバイスあるいは量子デバ? ??スと集積させた異種半導体による複合機能デバイス開発のため、化合物半導? ??に対する熱ダメージの少ないラジカルなどを用いて薄膜形成を行ったり、急? ??加熱・冷却により極短時間のプロセスができること。　　　　　　　　　　? ??　Ｃ　異種薄膜を集積化することにより作製される機能複合化知能デバイス? ??基本構造に対する特性評価に使用するため、各種薄膜異種接合界面あるいは? ??各薄膜の極低温などの様々な温度条件における光学的、電子的あるいは磁性? ??特性を調べ、センサなどを作製した場合の特性の変化を評価できること。　? ??　Ｄ　作製された機能集積化知能デバイスの電気的評価に使用するために、 集積回路の探針の位置合わせ及び接触を行い、デバイスの信号を外部に取り出 し、作製されたデバイス・システムの電気的パラメータの抽出やその回路シス テムの論理動作の評価ができること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成１４年５月１７日 (2002年5月17日)１７時００分（郵送の場 合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒４４１―８５８０豊橋市天伯町雲雀ケ丘１―１ 📍　豊橋 技術科学大学総務部会計課用度第二係　山口　敏也　電話０５３２―４４―６ ５１８　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成１４年４月１６日 (2002年4月16日)から平成１４年５月１７日 (2002年5月17日)まで。 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成１４年４月２６日 (2002年4月26日)１４時００分　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　豊橋技術科学大学事務局会議室　　　　　　　　　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。