次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２４　年１月　１６　日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　国立大学法人東北大学理事　植木　俊哉　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　０４　　　　　　　　　　　　　　 ○第７号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　超高精度電子線描画装置　一式　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２４年度６月以降　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　電子ビームの加速電圧が１３０ｋｅＶ以上であること。また、部品の 交換を行うことなく、２５〜１３０ｋｅＶの範囲において５ｋｅＶ毎に可変で きること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　ビーム径は２ｎｍ以下であること。　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｃ　ビーム電流が可変できること。　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｄ　ビームの位置分解能が０．１ｎｍより優れていること。　　　　　　 　　Ｅ　つなぎ精度が５０ｎｍより優れていること。　　　　　　　　　　　 　　Ｆ　重合せ精度が５０ｎｍより優れていること。　　　　　　　　　　　 　　Ｇ　ドット描画をビームのスポット形状を使って行う描画方式を有するこ と。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｈ　関数を使って円を描く描画方式を有すること。　　　　　　　　　　 　　Ｉ　ベクタースキャン描画方式及びラスタースキャン描画方式を有するこ と。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｊ　複数のドーズ条件やフィールドサイズでの描画を連続的に行える描画 方式を有すること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｋ　フィールドサイズが変調できる描画方式を有すること。　　　　　　 　　Ｌ　回転対称について描画できる方式を有すること。　　　　　　　　　 　　Ｍ　ＳＥＭ画像が取得でき、コンピュータに画像ファイルとして保存でき ること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｎ　ＳＥＭ画像に測長機能を有すること。　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｏ　ＳＥＭ画像の倍率は、液晶ディスプレイ上で３００，０００倍以上で あること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｐ　ＣＡＤソフトウェアを有すること。また、ＧＤＳＩＩ形式のＣＡＤフ ァイルを描画装置用ファイルに変換できるソフトを有すること。　　　　　　 　　Ｑ　オートレジストレーション機能を有すること。また、最初のグローバ ルマークの検出はマニュアルでも行えること。　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｒ　Ｘ軸、Ｙ軸の各ステージの移動範囲が１５０ｍｍ以上であること。ま た、Ｚ軸ステージの移動範囲は５ｍｍ以上であること。　　　　　　　　　　 　　Ｓ　Ｘ軸、Ｙ軸の各ステージの位置検出について、分解能は１ｎｍより優 れていること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｔ　試料としては直径２インチ、３インチ、４インチ、６インチのウェハ を扱えるほか、２０ｍｍ角を含む１０ｍｍ角以上の不定形の小片も扱えること 。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｕ　装置本体は磁性体で覆われていて、外部磁場の影響を受けにくい構造 であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｖ　無停電電源を有しており、瞬間停電に対応できること。　　　　　　 　　Ｗ　イオンポンプのバックアップ電源を有しており、施設の定期点検のた めに計画された７日間以内の停電に対応できること。　　　　　　　　　　　 　　Ｘ　鏡筒や試料室を含む装置本体の温度を制御できること。　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２４年２月１６日 (2012年2月16日)１７時００分（郵送の場 合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒９８０―８５７７仙台市青葉区片平２―１―１ 📍　東北 大学財務部資産・調達管理課調達管理第二係長　樋口　秀樹　電話０２２―２ １７―４８６９　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２４年１月１６日 (2012年1月16日)から平成２４年２月１６日 (2012年2月16日)まで。 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。