次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２３　年　１２　月　１２　日　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　国立大学法人東北大学理事　植木　俊哉　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　０４　　　　　　　　　　　　　　 ○第６号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　１２　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ウェハ研磨装置　一式　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２４年度５月以降　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　φ３００ｍｍウェーハの対応　φ２００ｍｍとφ３００ｍｍウェーハ の兼用仕様であり、研削、化学的機械研磨（ＣＭＰ）、高い清浄度で洗浄、エ ッジトリミングを行うことが可能であること。　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　構成　粗研削軸（Ｚ１）、仕上げ研削軸（Ｚ２）、ＣＭＰ軸（Ｚ３） 、ＣＭＰの仕上げ研磨軸（Ｚ４）の４軸構成であること　　　　　　　　　　 　　Ｃ　洗浄機能　以下薬液が使用可能なこと。　　　　　　　　　　　　　 　　　　アルカリ薬液（ＳＣ―１）、酸薬液（クエン酸）、オゾン水　　　　 　　　　また、ウェーハ表面（加工面）はＰＶＡ製のブラシ洗浄が出来る機構 を備えていること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｄ　パーティクル対策　筐体にＵＬＰＡフィルタ内蔵のＦＦＵ（ファンフ ィルタユニット）が設置されていること。　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｅ　ワーク搬送可能厚さ　最大１．５ｍｍ以上の総厚のワークが搬送可能 であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｆ　非接触厚さ測定機構　研削中のウェーハの厚さを非接触にて測定でき ること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｇ　加工負荷制御　圧力センサを用いてＣＭＰ時の接触負荷を制御する加 工方式を用いていること。（検知可能荷重範囲　０〜２，０００Ｎ程度）　　 　　Ｈ　チャックテーブル　水冷式の冷却機構を採用していること。　　　　 　　Ｉ　搬送アームのクランプ　バキューム方式ではなく、エッジクランプ方 式であること。また、搬送中加工面を乾かさないよう純水によるウエット搬送 が行えること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｊ　エッジトリミング機構　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ａ　貼り合わせ前後のウェーハのエッジトリミングが可能であること。 　　　ｂ　加工後にオゾン洗浄が可能なシステムであること。　　　　　　　 　　　ｃ　ハーフカットダイシングも可能であること。　　　　　　　　　　 　　　ｄ　φ３００ｍｍのウェーハからφ２００ｍｍにリサイズ加工が可能な こと。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｋ　スラリーの対応　以下品種のスラリーに対応していること。　　　　 　　　　組成　アルカリ、有機アルカリ、砥粒　シリカ　　　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２４年１月２０日 (2012年1月20日)１７時００分（郵送の場 合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒９８０―８５７７仙台市青葉区片平２―１―１ 📍　東北 大学財務部資産・調達管理課調達管理第二係長　樋口　秀樹　電話０２２―２ １７―４８６９　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２３年１２月１２日 (2011年12月12日)から平成２４年１月２０日 (2012年1月20日)まで 。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２３年１２月１９日 (2011年12月19日)１０時３０分　　　　　　　　 　（２）　開催場所　東北大学未来科学技術共同研究センター１階小会議室　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。