有機金属気相成長装置システム 一式
基本情報
- 調達機関および所在地
- 国立大学法人 (愛知県)
- 公示日
- 2011年10月26日
- 公示の種類
- 資料提供招請に関する公表
- 機関名詳細および所在地詳細
- 国立大学法人名古屋工業大学 事務局長 前田 千尋
詳細情報
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提
供を招請します。
平成 23 年 10 月 26 日
国立大学法人名古屋工業大学
事務局長 前田 千尋
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 23
○第1号
1 調達内容
(1) 品目分類番号 24
(2) 導入計画物品及び数量 有機金属気相成長装置システム 一式
(3) 調達方法 購入等
(4) 導入予定時期 平成24年度3月以降
(5) 調達に必要とされる基本的な要求要件
A MOCVD装置(2台) 多数枚の基板上に常圧及び減圧下でGaN
系薄膜が形成出来ること。成長中にその場観察が可能なこと。
B ドライ洗浄装置 MOCVD装置で使用する反応炉内高純度石英製リ
アクター内部品を加熱下、塩素系ガスでエッチング出来ること。
C 配管設備 MOCVD装置への原料供給設備、除害設備、ドライ洗浄
装置、ガス警報設備及びこれらを結ぶ配管を有すること。
D 供給設備 MOCVD装置用に有機金属系、水素化物系、キャリアガ
ス及びドライ洗浄装置用に塩素系ガスを有すること。
E 除害設備 MOCVD装置やドライ洗浄装置から排出されるガスの除
害塔、中和するための薬液及び廃液タンクを有すること。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考
資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ
ーに関する資料等の提供を招請する。
(1) 資料等の提供期限 平成23年12月1日 (2011年12月1日)17時00分(郵送の場
合は必着のこと。)
(2) 提供先 〒466―8555 名古屋市昭和区御器所町字木市29
番 名古屋工業大学経理チームマネージャー(領域担当) 川那 武史 電話
052―735―5039
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付
する。
(1) 交付期間 平成23年10月26日 (2011年10月26日)から平成23年12月1日 (2011年12月1日)まで
。
(2) 交付場所 上記2(2)に同じ。
4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。
(1) 開催日時 平成23年11月7日 (2011年11月7日)10時00分
(2) 開催場所 名古屋工業大学事務局会議室
5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予
定であり、変更することがあり得る。