有機金属気相成長装置システム 一式

ID: 161834 種別: 資料提供招請に関する公表

基本情報

調達機関および所在地
国立大学法人愛知県
公示日
2011年10月26日
公示の種類
資料提供招請に関する公表
機関名詳細および所在地詳細
国立大学法人名古屋工業大学 事務局長 前田 千尋

詳細情報

                         次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。                             平成 23 年 10 月 26 日                         国立大学法人名古屋工業大学                           事務局長 前田 千尋               ◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 23               ○第1号                                1 調達内容                               (1) 品目分類番号 24                       (2) 導入計画物品及び数量 有機金属気相成長装置システム 一式    (3) 調達方法 購入等                        (4) 導入予定時期 平成24年度3月以降               (5) 調達に必要とされる基本的な要求要件                A MOCVD装置(2台) 多数枚の基板上に常圧及び減圧下でGaN 系薄膜が形成出来ること。成長中にその場観察が可能なこと。          B ドライ洗浄装置 MOCVD装置で使用する反応炉内高純度石英製リ アクター内部品を加熱下、塩素系ガスでエッチング出来ること。         C 配管設備 MOCVD装置への原料供給設備、除害設備、ドライ洗浄 装置、ガス警報設備及びこれらを結ぶ配管を有すること。            D 供給設備 MOCVD装置用に有機金属系、水素化物系、キャリアガ ス及びドライ洗浄装置用に塩素系ガスを有すること。              E 除害設備 MOCVD装置やドライ洗浄装置から排出されるガスの除 害塔、中和するための薬液及び廃液タンクを有すること。          2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考 資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。                    (1) 資料等の提供期限 平成23年12月1日 (2011年12月1日)17時00分(郵送の場 合は必着のこと。)                            (2) 提供先 〒466―8555 名古屋市昭和区御器所町字木市29 番 名古屋工業大学経理チームマネージャー(領域担当) 川那 武史 電話 052―735―5039                        3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。                                  (1) 交付期間 平成23年10月26日 (2011年10月26日)から平成23年12月1日 (2011年12月1日)まで 。                                    (2) 交付場所 上記2(2)に同じ。                4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。          (1) 開催日時 平成23年11月7日 (2011年11月7日)10時00分           (2) 開催場所 名古屋工業大学事務局会議室             5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。                  

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