次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２２　年７月１日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　理事　平野　仁司　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　１７　　　　　　　　　　　　　　 ○第１号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　微細パターンプリントシステム　一式　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２２年度３月以降　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　本システムは，以下の基本ユニットから構成される。　　　　　　　 　　　ａ　アライメントユニット　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｂ　インプリントユニット　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｃ　焼成ユニット　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｄ　アッシングユニット　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　アライメントユニットは以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　 　　　ａ　基板サイズは１５０ｍｍ×２００ｍｍ以上であること。　　　　　 　　　ｂ　ＸＹθステージのＸＹ方向の移動量は±５ｍｍ以上、最小設定単位 は０．１μｍ以下であり、θ方向の移動量は±５°以上、最小設定単位は０． ００００５°以下であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｃ　Ｚステージの移動量は２００ｍｍ以上であること。　　　　　　　 　　Ｃ　インプリントユニットは以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　 　　　ａ　基板サイズは１５０ｍｍ×２００ｍｍ以上であること。　　　　　 　　　ｂ　インプリント方式はＲｏｌｌ　ｔｏ　Ｓｈｅｅｔ方式熱インプリン トであること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｃ　加熱温度は２５０℃以上であること。また、２５０℃における均熱 性は±１０℃以内であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｄ　Ｘステージ、Ｚステージの移動量がそれぞれ３００ｍｍ、２００ｍ ｍ以上であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｅ　面圧は１０ＭＰａ以上であること　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｄ　焼成ユニットは以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　　　　 　　　ａ　基板サイズは１５０ｍｍ×２００ｍｍ以上であること。　　　　　 　　　ｂ　加熱はＲＴＡ方式で、温度は７５０℃以上であること。　　　　　 　　　ｃ　真空機構を有しており、到達真空度は１，０００Ｐａ以下であるこ と。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　ｄ　窒素および酸素雰囲気焼成が可能であること。　　　　　　　　　 　　Ｅ　アッシングユニットは以下の要件を満たすこと。　　　　　　　　　 　　　ａ　基板サイズは１５０ｍｍ×２００ｍｍ以上であること。　　　　　 　　　ｂ　使用ガスは窒素および酸素プラズマであること。　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２２年８月２日 (2010年8月2日)１７時００分（郵送の場合 は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒９２３―１２９２石川県能美市旭台１―１ 📍　国立大学 法人北陸先端科学技術大学院大学会計課調達係長　東本　　康　電話０７６１ ―５１―１１１８　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２２年７月１日 (2010年7月1日)から平成２２年８月２日 (2010年8月2日)まで。　　 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２２年７月８日 (2010年7月8日)１４時００分　　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学先端科学技術 研究調査センター２階研修室　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。