次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２１　年７月１日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　国立大学法人北海道大学総長　佐伯　　浩　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　０１　　　　　　　　　　　　　　 ○第３号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　超高精度電子ビーム露光システム　一式　　　　　　　　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　平成２２年度７月以降　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　１００ｋＶ以上の加速電圧を有する熱電界放射型電子銃を用いた電子 線描画装置であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　最小電子ビーム径が３ｎｍ以下であること。　　　　　　　　　　　 　　Ｃ　市販のレジスト（例　ＺＥＰ５２０Ａ（日本ゼオン（株））で５ｎｍ 以下の線幅でのパターニングを保障すること。　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｄ　電子ビーム電流値の揺らぎは０．１％以下であること。　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２１年８月３日 (2009年8月3日)１７時００分（郵送の場合 は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒０６０―０８０８札幌市北区北８条西５丁目 📍　北海道 大学財務部調達課係長（物品契約）　佐々木　結　電話０１１―７０６―４５ ５７　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２１年７月１日 (2009年7月1日)から平成２１年８月３日 (2009年8月3日)まで。　　 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２１年７月８日 (2009年7月8日)１４時００分　　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　北海道大学創成科学研究棟セミナー室Ｂ（０４―２１４ ）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。