次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２２　年６月　１６　日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　国立大学法人大阪大学総長　鷲田　清一　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　２７　　　　　　　　　　　　　　 ○第２号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　ナノデバイス微細加工システム　一式　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２２年度３月以降　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　最小描画線幅は５ｎｍ以下であること。　　　　　　　　　　　　　 　　Ｂ　ビーム電流強度は５ｅ―１２〜５ｅ―８ｎＡであること。　　　　　 　　Ｃ　電子ビーム形状はガウス分布の円形スポットビームとし、最小電子ビ ーム径は１．７ｎｍφ以下であること。　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｄ　電子ビームの最大加速電圧は１２５ｋＶ以上であること。また５段階 の加速電圧設定（１２５ｋＶ、１００ｋＶ、７５ｋＶ、５０ｋＶ、２５ｋＶ） が可能なこと。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｅ　画像検出部は二次電子検出器を２本以上搭載し、和信号及び差信号を 表示すること。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　Ｆ　幅４ｍ×奥行３ｍ×高さ２．６ｍ程度で、室温変動幅±０．１℃（描 画室）±０．３℃（制御室）の恒温ブースを用意すること。　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２２年７月２０日 (2010年7月20日)１７時１５分（郵送の場 合は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒５６５―０８７１吹田市山田丘１―１ 📍　大阪大学財務 部吹田調達センター室調達第三係　多田　浩基　電話０６―６８７９―４０１ ４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２２年６月１６日 (2010年6月16日)から平成２２年７月２０日 (2010年7月20日)まで。 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２２年６月２４日 (2010年6月24日)１４時００分　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　大阪大学産業科学研究所第２研究棟１階共同プロジェク ト室　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。