電子線描画装置 一式
基本情報
- 調達機関および所在地
- 国立大学法人 (福岡県)
- 公示日
- 2009年03月11日
- 公示の種類
- 資料提供招請に関する公表
- 機関名詳細および所在地詳細
- 国立大学法人九州工業大学学長 下村 輝夫
詳細情報
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提
供を招請します。
平成 21 年3月 11 日
国立大学法人九州工業大学学長 下村 輝夫
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 40
○第1号
1 調達内容
(1) 品目分類番号 24
(2) 導入計画物品及び数量
電子線描画装置 一式
(3) 調達方法 購入等
(4) 導入予定時期
平成21年度1月以降
(5) 調達に必要とされる基本的な要求要件
a 最小線幅 10nm以下
b 角形(マスク)4、5、7インチと、円形(ウエハ)4、6インチへ
の描画が可能であること
c 汎用WSもしくはPCによるデータ変換、機器操作
d STREAM、GDSなどの一般的なレイアウトデータを扱えること
e CMSフォト室において(273cm高)、既存の防振台(1400
×1300)に設置可能なこと
2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考
資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ
ーに関する資料等の提供を招請する。
(1) 資料等の提供期限 平成21年4月13日 (2009年4月13日)17時00分(郵送の場
合は必着のこと。)
(2) 提供先 〒804―8550北九州市戸畑区仙水町1―1 📍 九州
工業大学会計課物品調達係 高岩 峰雄 電話093―884―3029
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付
する。
(1) 交付期間 平成21年3月11日 (2009年3月11日)から平成21年4月13日 (2009年4月13日)まで。
(2) 交付場所 上記2(2)に同じ。
4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。
(1) 開催日時 平成21年3月26日 (2009年3月26日)15時00分
(2) 開催場所 九州工業大学マイクロ化総合技術センターAV講義室
5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予
定であり、変更することがあり得る。