電子線描画装置 一式

ID: 127047 種別: 資料提供招請に関する公表

基本情報

調達機関および所在地
国立大学法人福岡県
公示日
2009年03月11日
公示の種類
資料提供招請に関する公表
機関名詳細および所在地詳細
国立大学法人九州工業大学学長 下村 輝夫

詳細情報

                         次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。                             平成 21 年3月 11 日                      国立大学法人九州工業大学学長 下村 輝夫               ◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 40               ○第1号                                1 調達内容                               (1) 品目分類番号 24                       (2) 導入計画物品及び数量                        電子線描画装置 一式                        (3) 調達方法 購入等                        (4) 導入予定時期                            平成21年度1月以降                        (5) 調達に必要とされる基本的な要求要件                a 最小線幅 10nm以下                       b 角形(マスク)4、5、7インチと、円形(ウエハ)4、6インチへ の描画が可能であること                           c 汎用WSもしくはPCによるデータ変換、機器操作           d STREAM、GDSなどの一般的なレイアウトデータを扱えること   e CMSフォト室において(273cm高)、既存の防振台(1400 ×1300)に設置可能なこと                      2 資料及びコメントの提供方法 上記1(2)の物品に関する一般的な参考 資料及び同(5)の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。                    (1) 資料等の提供期限 平成21年4月13日 (2009年4月13日)17時00分(郵送の場 合は必着のこと。)                            (2) 提供先 〒804―8550北九州市戸畑区仙水町1―1 📍 九州 工業大学会計課物品調達係 高岩 峰雄 電話093―884―3029   3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。                                  (1) 交付期間 平成21年3月11日 (2009年3月11日)から平成21年4月13日 (2009年4月13日)まで。  (2) 交付場所 上記2(2)に同じ。                4 説明会の開催 本公表に基づく導入説明会を開催する。          (1) 開催日時 平成21年3月26日 (2009年3月26日)15時00分           (2) 開催場所 九州工業大学マイクロ化総合技術センターAV講義室  5 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。                  

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