次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提 供を招請します。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　平成　２２　年６月７日　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　国立大学法人東京工業大学　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　事務局長　吉川　　晃　　　　　　　　　　　　　　 ◎調達機関番号　４１５　◎所在地番号　１３　　　　　　　　　　　　　　 ○第１号　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 １　調達内容　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　品目分類番号　２４　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　導入計画物品及び数量　電子ビーム露光装置　一式　　　　　　　 　（３）　調達方法　購入等　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（４）　導入予定時期　平成２２年度３月以降　　　　　　　　　　　　　 　（５）　調達に必要とされる基本的な要求要件　　　　　　　　　　　　　 　　Ａ　極細電子ビーム（直径５ｎｍ以下）を持つ電子ビーム露光装置。　　 　　Ｂ　つなぎ合わせ／位置あわせでの精度が必要である。　　　　　　　　 　　Ｃ　高いスループット（すなわち、短いオーバーヘッド時間、早い偏向器 、極細ビームでの高電流等）が好ましい。　　　　　　　　　　　　　　　　 ２　資料及びコメントの提供方法　上記１（２）の物品に関する一般的な参考 資料及び同（５）の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリ ーに関する資料等の提供を招請する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　資料等の提供期限　平成２２年７月９日 (2010年7月9日)１７時００分（郵送の場合 は必着のこと。）　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（２）　提供先　〒１５２―８５５０東京都目黒区大岡山２丁目１２番１ 📍 号　東京工業大学研究情報部外部資金支援課　筒井　朋寛　電話０３―５７３ ４―３７５３　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ３　説明書の交付　本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付 する。　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 　（１）　交付期間　平成２２年６月７日 (2010年6月7日)から平成２２年７月９日 (2010年7月9日)まで。　　 　（２）　交付場所　上記２（２）に同じ。　　　　　　　　　　　　　　　 ４　説明会の開催　本公表に基づく導入説明会を開催する。　　　　　　　　 　（１）　開催日時　平成２２年６月１７日 (2010年6月17日)１４時００分　　　　　　　　　 　（２）　開催場所　東京工業大学事務局３号館１階会議室　　　　　　　　 ５　その他　この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予 定であり、変更することがあり得る。