ウエハ表面プラズマ活性化装置一式
基本情報
- 調達機関および所在地
- 国立大学法人 （神奈川県）
- 公示日
- 2026年04月10日
- 公示の種類
- 資料提供招請に関する公表
- 機関名詳細および所在地詳細
- 国立大学法人横浜国立大学長 梅原 出
詳細情報
資料提供招請に関する公表
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提供を招請します。
令和8年4月 10 日
国立大学法人横浜国立大学長 梅原 出
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 14
[○]第1号
1 調達内容
⑴ 品目分類番号 24
⑵ 導入計画物品及び数量 ウエハ表面プラズマ活性化装置 一式
⑶ 調達方法 購入等
⑷ 導入予定時期 令和9年9月
⑸ 調達に必要とされる基本的な要求要件
φ12インチウエハおよびφ12インチウエハ用ダイシングフレームに対応する2系統のロードポートおよびチャンバーを備えること。
各チャンバーに2つ以上のプラズマ源を搭載し、それぞれを独立操作および同時印可できること。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1⑵の物品に関する一般的な参考資料及び同⑸の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリーに関する資料等の提供を招請する。
⑴ 資料等の提供期限 令和8年5月15日 (2026年5月15日)17時00分(郵送の場合は必着のこと。)
⑵ 提供先 〒240-8501横浜市保土ケ谷区常盤台79-1 📍 国立大学法人横浜国立大学財務部経理課契約第一係 杉山恵梨子 電話045-339-3241
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付する。
⑴ 交付期間 令和8年4月10日 (2026年4月10日)から令和8年5月15日 (2026年5月15日)まで。
⑵ 交付場所 上記2⑵に同じ。
4 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予定であり、変更することがあり得る。
次のとおり物品の導入を予定していますので、当該導入に関して資料等の提供を招請します。
令和8年4月 10 日
国立大学法人横浜国立大学長 梅原 出
◎調達機関番号 415 ◎所在地番号 14
[○]第1号
1 調達内容
⑴ 品目分類番号 24
⑵ 導入計画物品及び数量 ウエハ表面プラズマ活性化装置 一式
⑶ 調達方法 購入等
⑷ 導入予定時期 令和9年9月
⑸ 調達に必要とされる基本的な要求要件
φ12インチウエハおよびφ12インチウエハ用ダイシングフレームに対応する2系統のロードポートおよびチャンバーを備えること。
各チャンバーに2つ以上のプラズマ源を搭載し、それぞれを独立操作および同時印可できること。
2 資料及びコメントの提供方法 上記1⑵の物品に関する一般的な参考資料及び同⑸の要求要件等に関するコメント並びに提供可能なライブラリーに関する資料等の提供を招請する。
⑴ 資料等の提供期限 令和8年5月15日 (2026年5月15日)17時00分(郵送の場合は必着のこと。)
⑵ 提供先 〒240-8501横浜市保土ケ谷区常盤台79-1 📍 国立大学法人横浜国立大学財務部経理課契約第一係 杉山恵梨子 電話045-339-3241
3 説明書の交付 本公表に基づき応募する供給者に対して導入説明書を交付する。
⑴ 交付期間 令和8年4月10日 (2026年4月10日)から令和8年5月15日 (2026年5月15日)まで。
⑵ 交付場所 上記2⑵に同じ。
4 その他 この導入計画の詳細は導入説明書による。なお、本公表内容は予定であり、変更することがあり得る。
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